Робот Dextro от Lam Research обеспечивает 2-кратную точность при обслуживании полупроводников

Компания Lam Research только что представила Dextroнового совместного робота, созданного специально для решения задач по обслуживанию оборудования для производства полупроводников. Этот мобильный робот уже работает в нескольких высокотехнологичных заводах по производству пластин по всему миру, обслуживая от 50 до 100 камер в инструментах Lam, которые нуждаются в ежемесячном обслуживании.

Dextro разработан для решения некоторых из самых сложных задач в области обслуживания полупроводников и обладает тремя отличительными особенностями. Во-первых, он устанавливает расходные детали с точностью, более чем в два раза превышающей точность ручного труда, что помогает повысить производительность травления на краях пластины. Робот также затягивает болты вакуумного уплотнения с точной точностью, устраняя обычную 5-процентную ошибку, допускаемую человеческими руками. Это снижает риск колебаний температуры в камере, которые могут нарушить ход производства.

Кроме того, Dextro оснащен технологией автоматической очистки и удаления полимеров, которая может очистить камеру от боковых стенок, не разбирая нижнюю камеру. Это делает весь процесс более безопасным, поскольку отпадает необходимость в защитных средствах, таких как респираторы, которые были обязательны при ручной очистке.

Янг Джу Ким, вице-президент и руководитель группы технологий травления памяти в Samsung Electronics, поделился своими мыслями о важности быстрого и эффективного обслуживания: "Когда производственное оборудование требует обслуживания, работа должна быть выполнена быстро и эффективно, чтобы избежать длительного простоя инструмента и напрасных затрат. Безошибочное техническое обслуживание Dextro помогает повысить вариабельность производства и выход продукции"

В настоящее время Dextro работает с инструментами для диэлектрического травления серии Flex G и H компании Lam, а к 2025 году планируется расширить совместимость с другими видами оборудования. Система работает на мобильной тележке и управляется техниками или инженерами фабрики, используя различные концевые эффекторы для каждой задачи обслуживания.